Kompakter Digitaler Motion Controller für die Nanostelltechnik

Der einkanalige Piezocontroller E-709 von Physik Instrumente (PI) ist nun auch für Präzisions-Positioniersysteme mit kapazitiven Wegmesssensoren erhältlich. Da der Großteil der Nanopositioniersysteme von PI mit diesen Sensoren ausgestattet ist, ermöglicht der E-709 deutlich niedrigere Systemkosten im Vergleich zu den bisher angebotenen Digitalcontrollern.
Der größte Unterschied zwischen digitalen und analogen Controllern ist, dass per Softwarebefehl auf alle Parameter durch Rechenalgorithmen gezielt Einfluss genommen werden kann. Die Positioniergenauigkeit des Piezosystems wird dadurch auf unter 0,01% verbessert. Die Digitaltechnik ermöglicht bei der Kommandierung über die digitalen SPI, USB und RS-232 Schnittstellen das Setzen der Bewegungs- und Regelparameter und die Programmierung der digitalen I/Os oder des analogen Ausgangs über Software.
Der Verstärker des E-709 liefert 5 W Ausgangsleistung (10 W für < 5ms) und ist so ausgelegt, dass klassische Nanopositioniersysteme mit Stellwegen bis etwa 200 µm mit mittleren Scanfrequenzen bis 100 Hz betrieben werden können. Dazu gehört z.B der P-620 PIHera Linearversteller und die Objektivscanner der PIFOC® Serien P-721 und P-725.

Kapazitive Sensoren erhöhen die Präzision

Kapazitive Sensoren besitzen im Vergleich zu den vom E-709 bisher unterstützten Dehnungssensoren eine bessere Auflösung, Linearität und Stabilität. Sie messen die Position der bewegten Plattform berührungslos und direkt, wodurch bei parallelkinematischen Systemen die gleichzeitige Vermessung in mehreren Freiheitsgraden möglich ist. Andererseits sind sie nicht wesentlich teurer als die indirekt messenden Dehnmessstreifen. Aus diesem Grunde stattet PI möglichst viele seiner Positioniersysteme mit kapazitiven Sensoren aus. Inwieweit die Möglichkeiten der kapazitiven Sensoren im System ausgeschöpft werden, hängt wesentlich vom Controller ab.

Unternehmensinformation / Kurzprofil:

In den letzten vier Jahrzehnten hat sich PI mit Stammsitz in Karlsruhe zum führenden Hersteller von Nanopositioniertechnik entwickelt. Als privat geführtes Unternehmen mit gesundem Wachstum, über 500 Angestellten weltweit und einer flexiblen, vertikal integrierten Organisation, kann PI fast jede Anforderung aus dem Bereich innovativer Präzisions-Positioniertechnik erfüllen. Alle Schlüsseltechnologien werden im eigenen Haus entwickelt. Dadurch kann jede Phase vom Design bis hin zur Auslieferung kontrolliert werden: die Präzisionsmechanik und Elektronik ebenso wie die Positionssensorik und die Piezokeramiken bzw. -aktoren. Letztere werden bei der Tochterfirma PI Ceramic gefertigt. In allen wichtigen Märkten ist PI mit eigenen Vertriebs- und Serviceniederlassungen vertreten. Außerdem unterhält das Unternehmen Testausrüstungen für Nanometrologie auf drei Kontinenten. PI Shanghai und USA haben darüber hinaus Entwicklungs- und Fertigungsressourcen, die vor Ort eine schnelle Reaktion auf kundenspezifische Anforderungen ermöglichen.

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Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Auf der Roemerstrasse 1
76228 Karlsruhe
Germany
www.pi.ws
info(at)pi.ws
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